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CKD集成化供氣系統(tǒng)

簡要描述:CKD集成化供氣系統(tǒng)
型號: IAGD5
省空間且提高了維護性的工藝氣體供給系統(tǒng)。
從設(shè)計到制作均可根據(jù)客戶需要的流程進行。
1.125inch、采用W密封。

  • 產(chǎn)品型號:IAGD5
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-11-25
  • 訪  問  量:690

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詳細介紹
品牌CKD/日本喜開理產(chǎn)地類別進口
應(yīng)用領(lǐng)域化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子,綜合

CKD集成化供氣系統(tǒng)

型號: IAGD5

行業(yè)

半導(dǎo)體制造工序(前工序)

化學氣體供給設(shè)備用元件

產(chǎn)品特點:【集成單元】
通過緊湊集成標準化部件,構(gòu)建工藝氣體供氣線。
實現(xiàn)了可高速置換工藝氣體和惰性氣體的理想流路。
從設(shè)計到裝配、檢查完成后交付,可減少客戶的工時。

CKD集成化供氣系統(tǒng)
型號: IAGD5   衍生系列
image.png

ckd集成化供氣系統(tǒng)IAGD5

化學液體用氣動閥的新標準。

它是一款支持各種壓力、溫度和流體條件的端產(chǎn)品。

它可以統(tǒng)一使用中所有細分的模型。


行業(yè)

半導(dǎo)體制造過程(預(yù)處理)

化學液體供應(yīng)設(shè)備的組件

ckd集成化供氣系統(tǒng)IAGD5



備有最大扭矩22和45N·m兩種尺寸。

配備 4、194 和 304 個脈沖的編碼器分辨率,可實現(xiàn) ±2 秒的重復(fù)精度。

產(chǎn)品可以直接從頂部或底部安裝,無需拆下蓋子。這顯著減少了工作時間,尤其是從頂部安裝時?!揪S護方便】

滑塊側(cè)面設(shè)有可直接從外部供給油脂的油脂供給口。不分解主體,從一處輸送油脂,維護導(dǎo)軌和滾珠絲杠。[低塵規(guī)格選項]

提供相當于 2.5 級(ISO14644-1 標準)的清潔度。通過提供真空端口實現(xiàn)低發(fā)塵。非常適合在清潔環(huán)境中運輸。

* 有關(guān)清潔等級的詳細信息,請參閱產(chǎn)塵特性頁面上的目錄。[NEW] 添加了低粉塵規(guī)格選項

[NEW] 添加了電機制造商支持

電動執(zhí)行器的無電機規(guī)格,允許您安裝和控制每個制造商的電機。

將主體和導(dǎo)軌一體化的外軌系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊,剛性高。主體外側(cè)設(shè)有供油口,主體頂部可安裝,安裝維護方便。


沖程:50~1250mm

最大搬運質(zhì)量(水平):110kg[NEW] 添加了低粉塵規(guī)格選項

[NEW] 添加了電機制造商支持

電動執(zhí)行器的無電機規(guī)格,允許您安裝和控制每個制造商的電機。

將主體和導(dǎo)軌一體化的外軌系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊,剛性高。主體外側(cè)設(shè)有供油口,主體頂部可安裝,安裝維護方便。


沖程:50~1250mm



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